2024年10月9日，市場監(jiān)管總局正式發(fā)布了三項具有里程碑意義的國家一級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)——二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)以及一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。這一消息的發(fā)布，標(biāo)志著我國在納米測量技術(shù)領(lǐng)域取得了重大突破，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等多個領(lǐng)域的納米制造提供了精準(zhǔn)的“標(biāo)尺”。
突破性的技術(shù)成就
這三項標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制，不僅滿足了納米制造產(chǎn)業(yè)對于角度和長度校準(zhǔn)的迫切需求，更在技術(shù)上實現(xiàn)了質(zhì)的飛躍。特別是二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，其制備過程采用了分步沉積原子光刻技術(shù)，這一技術(shù)的突破使得標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制備難度大大增加，但同時也帶來了前所未有的測量準(zhǔn)確性。該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的角度絕對準(zhǔn)確性達(dá)到了0.001°量級，這相當(dāng)于將一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份，其精確度之高可見一斑。
廣泛的應(yīng)用前景
二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm×300μm，且在沒有劃傷或破壞的情況下，每次使用2μm×2μm的測量區(qū)域，可重復(fù)使用次數(shù)高達(dá)20000次以上。這一特性使得它成為了晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設(shè)備校準(zhǔn)的理想選擇。同時，它還可以應(yīng)用于超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)，為納米測量領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用提供了強有力的支持。
扁平化計量與誤差控制
納米級角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功，不僅提升了我國納米測量的技術(shù)水平，更實現(xiàn)了納米測量領(lǐng)域的扁平化計量。傳統(tǒng)的逐級量值傳遞方式容易在傳遞過程中造成誤差放大，而納米級角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)則能夠通過在線校準(zhǔn)直接將高精度計量數(shù)據(jù)傳遞到企業(yè)計量現(xiàn)場，從而有效避免了這一問題。這一創(chuàng)新不僅提高了測量的準(zhǔn)確性和可靠性，更為我國納米制造產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供了有力支撐。
推動產(chǎn)業(yè)升級與發(fā)展
此次發(fā)布的納米級角度國家一級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是我國納米測量技術(shù)領(lǐng)域的一次重大突破，也是我國推動產(chǎn)業(yè)升級和發(fā)展的重要舉措。隨著這些標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的廣泛應(yīng)用，我國納米制造產(chǎn)業(yè)將迎來更加廣闊的發(fā)展前景。同時，這也將進一步提升我國在國際納米測量技術(shù)領(lǐng)域的話語權(quán)和影響力，為我國在全球科技競爭中占據(jù)有利地位提供有力保障。
結(jié)語
納米測量技術(shù)的突破和創(chuàng)新是推動我國納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要支撐。此次發(fā)布的納米級角度國家一級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，不僅標(biāo)志著我國在納米測量技術(shù)領(lǐng)域取得了重大成果，更為我國納米制造產(chǎn)業(yè)的未來發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ)。我們有理由相信，在不久的將來，我國將在納米制造領(lǐng)域取得更加輝煌的成就。
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